精密斜齿轮行星减速机的主体结构有：行星轮，太阳轮以及内齿圈。相对于其他减速机，伺服行星减速机具有高刚性、高精度（单级可做到1分以内）、高传动效率(单级在97%-98%)、高的扭矩/体积比、终身免维护等特点。多数是用于安装在步进电机和伺服电机上，用来降低转速，增大扭矩。由于结构的原因,单级的减速最小为3,最大一般不超过10。
精密斜齿轮行星减速机-行星齿轮传动装置的重量一般与齿轮的重量是成正比的，而齿轮的重量又与其材料和热处理的硬度有很大关系，因而这类减速机上广泛采用硬齿面齿轮。得到硬齿面齿轮的方法主要有：表面淬火，渗碳淬火和渗氮等，需要根据行星齿轮减速机的具体情况进行考虑选定。
1、表面淬火，常见的方法有高频淬火（对小尺寸齿轮）和火焰淬火（对大尺寸齿轮）两种。需要注意的是表面淬火的淬硬层能包括齿根底部时，效果会更好。
2、渗碳淬火，这类加工的齿轮具有相对更大的承载能力，但必须采用精加工如磨齿来消除热处理引起的变形问题，以确保精度。渗碳淬火在改善轮齿的弯曲疲劳强度方面作用明显，除了能使核心部位的硬度有所提高外，还能更好地应对齿轮表面的残余压应力，可使轮齿的最大拉应力区的拉应力变小。因此磨齿时不能磨到齿根部分，所以一般滚齿时要再用留磨量进行滚刀。
3、渗氮，可保证轮齿在变形最小的条件下达到较高的齿面硬度和更好的耐磨性，而且热处理后不用再进行最后的精加工，就提高了承载能力。这一特点对于不易磨齿的内齿轮来说，非常重要。
4、想啮合齿轮的硬度组合，当大、小齿轮均为软齿面齿轮时，一般小齿轮的齿面硬度应大于大齿轮。而当两轮均为硬齿面齿轮且硬度较高时，则应是两轮硬度相同。
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